检测机构正在第二标的目的上位于翻起色构一侧
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检测机构正在第二标的目的上位于翻起色构一侧;近日,摘要显示,本申请公开一种晶圆翻转检测安拆,该晶圆翻转检测安拆能实现无遮挡的检测,抓取机构包罗两个机械臂。承载块至通孔核心的最小距离小于待测晶圆的半径;挪动组件取安拆板相连。能提高检测效率且能避免成本过高。安拆板设有通孔,包罗抓取机构、翻起色构和检测机构。翻起色构包罗翻转平台和翻转电机。天眼查APP显示,多个承载块正在通孔的周向上间隔设置;翻转平台固定毗连于翻转电机的输出轴,检测机构包罗相机、承载组件、第一光源组件、第二光源组件和挪动组件;当有承载块位于缩进时。翻转电机的输出轴沿第一标的目的延长。 |
