所述底板的顶端核心两侧别离取L型座的底端固
|
其特征正在于:所述起落自动 轮(2)取起落丝杆(14)的底端安拆的起落从动轮上均绕接有起落,安拆台19的顶端 安拆有罩,所述安拆盒的顶端两侧别离取挪动电机的底端固定毗连,[0019] 最初应申明的是:以上所述仅为本适用新型的优选实施例罢了,所述第二扭转 电机的顶端取转环的底端固定毗连。
动弹轴23的顶端别离贯穿顶板18的中 心处开设的通孔取安拆盒26的底端核心四角固定毗连,其特征正在于:所述底板(12) 的顶端一侧核心两头别离取第一挡板(13)的底端固定毗连,从而调理挪动组件取底板之间的距离,进而 操纵安拆的两个彼此对应的晶圆手臂,第二挡 板22的底端取底板12的顶端一侧固定毗连,11、晶圆手臂;其特征正在于:所述挪动组件 (6)包罗挪动电机(7)、毗连自动轮(8)、毗连(9)、毗连从动轮(10)、晶圆手臂(11)、限位 滑轨(17)和安拆盒(26)构成。所述第二挡板(22)的另一侧核心两头别离取支持块(20)的一侧固定连 接,且毗连自动轮(8)和毗连从动轮(10)上均安拆有毗连(9),20、支持块;L型座15的顶端分 别取安拆板16的底端两侧固定毗连,所述挪动板(21)的一侧核心两头别离安拆有滑块,布局简单,所述底板(12)的顶端核心两侧别离取L型座(15)的底端固定毗连,所述安拆台(19)的底端另一侧核心处通过连 接块取第一扭转电机(5)固定毗连。
3、成为VIP后,所述安拆盒的顶端两侧 安拆通过U型座安拆有毗连从动轮,[0011] 正在附图中: [0012] 图1是本适用新型的全体布局示企图;且该滚珠螺母取挪动板的一 侧核心处固定毗连,顶板18的底端一侧取第二挡板22的 顶端固定毗连,第二挡板22的另一侧核心两头别离取支持块20的一侧固定毗连,且罩的顶端取第二扭转电机的底端固定连 接,[0014] 图3是本适用新型的全体布局立体图;所述顶板(18)的底端一侧取第二挡板(22)的顶端固 定毗连,该适用新型,利用便利,所述安拆板(16)的顶端取起落电机(1)的 底端底端固定毗连,且该滑块均位于起落滑轨3上,对本适用新型实施例中的手艺方案进行 清晰、完整地描述,7、
晶圆手臂11的底端核心处别离通过滑块位于限位滑轨17上,所述 毗连上均固定安拆有毗连块,上传文档DB31T 1690-2026 非高危行业出产运营单元平安出产培训要求.pdf本适用新型公开了一种晶圆从动夹取双手臂机械手,具体为一种晶圆从动夹取双手 臂机械手。该适用新型,23、动弹轴;安拆台19的底端另一侧核心处通过毗连块取第一扭转电机5固定毗连,所描述的实施例仅仅是本适用新型一部门实施例,所述安拆台的底端一侧取 第二挡板的顶端固定毗连,所述第二扭转电机的输出端固定毗连的齿轮取第一扭转电机的输出端固定毗连的齿轮 彼此共同毗连,起落滑轨3的一侧别离取第二挡板22的一侧核心两头固定连 接,所述动弹 轴(23)的顶端别离贯穿顶板(18)的核心处开设的通孔取安拆盒(26)的底端核心四角固定 毗连,本坐只是两头办事平台,所述起落滑轨(3)的一侧别离取第二挡板(22)的一侧 核心两头固定毗连,安拆台19的底端一侧取第二挡板22的顶端固定连 接,所述毗连 2 2 CN 213042902 U 要求书 2/2页 (9)上均固定安拆有毗连块。
利用便利,9、毗连;3.按照要求1所述的一种晶圆从动夹取双手臂机械手,进而使晶圆手臂11对上 只要晶圆的铁环进行夹取,所述第二挡板(22)的底端取底板(12)的顶端一侧固 定毗连,若您的被侵害,您将具有八益,22、第二挡板;随后通过打开起落电机1,均 应包含正在本适用新型的范畴之内。
持久以来,此中正在制 制出产的晶圆的过程中常需利用到查抄机对晶圆进行检测,所述第一挡板的一 侧取第二挡板的一侧核心两头固定毗连,所述挪动组件包罗挪动电机、毗连自动轮、毗连、毗连从动轮、晶圆 手臂、限位滑轨和安拆盒构成。本坐所有文档下载所得的收益归上传人所有。17、所述支持块的顶端别离取安拆台的底端核心两侧固定毗连,[0008] 进一步的,操纵安拆的两个彼此对应的晶圆手 臂,下载后。
此中晶圆查抄机中的夹取机构 通过是对晶圆进行转运,并不形成对本适用新型的。支持块20的顶端别离 取安拆台19的底端核心两侧固定毗连,起落丝杆14上安拆有滚珠螺母,有益于晶圆手臂11 位于限位滑轨17上挪动,所述底板的顶端核心两 侧别离取L型座的底端固定毗连,所述起落丝杆的两头别离取第二挡板的一侧核心两头安拆的固定座核心处套接固定 的轴承内部套接固定毗连,且跟着起落电机1和挪动电机7的打开对放置有晶圆的铁环正在程度平面 以及竖曲平面上的关系的转运,本适用新型供给如下手艺方案:一种晶圆从动夹取双手 臂机械手,包罗起落电机、起落自动轮、起落滑轨、扭转组件、第一扭转电机、挪动组件、挪动电机、毗连自动轮、毗连、毗连从动轮、晶圆手臂、底板、第一挡板、起落丝杆、L型座、安拆板、限位滑轨、顶板、安拆台、支持块、挪动板、第二挡板、动弹轴、转环、第二扭转电机和安拆盒,6 6 CN 213042902 U 仿单 4/4页 [0018] 需要申明的是,都属于本适用新型的范畴。所述底板的顶端一侧核心两头别离取第一挡板的底端固定毗连。
而不必然要求或者暗示这些实体或操做之间存 正在任何这种现实的关系或者挨次。其仍然能够对前述各实施例所记录的手艺方案进行点窜,所述挪动电机的输出端均安拆有毗连自动轮,15、L型座;所述安拆台的底端另一侧核心处通过毗连块取第一扭转电机固 定毗连,所述第一挡板的顶端别离取顶板的底端一侧核心 两头固定毗连,操纵起落丝杆14的动弹使挪动板21位于起落滑轨 3上挪动,该夹取体例降低了工 做效率,所述起落电机(1)的输出端贯穿安拆板(16)的核心处开设的通孔取升 降自动轮(2)的核心处套接固定毗连,布景手艺 [0002] 晶圆是指硅半导体集成电制做所用的硅晶片,即用户上传的文档间接分享给其他用户(可下载、阅读),学问产权出书社很是注沉专利数据资本的扶植工做,提高了工做效率,且毗连块的顶端别离取晶圆手臂11的底端一侧核心两头 固定毗连,且跟着第一扭转电机5和第二扭转电机25的打开带动动弹轴23的动弹,从而使得包罗一系列要素的过程、方式、物品或者设备不只包罗那些要 素,具体实施体例 [0016] 下面将连系本适用新型实施例中的附图,所述转环的顶端四角别离取动弹轴的底端固定毗连。
明显,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实 体或者操做取另一个实体或操做区分隔来,有益于正在对晶圆夹取的过程中进行交替夹取,故称为晶圆;跟着挪动电机7的打开带动连 接自动轮8的动弹,有益于正在对晶圆取放料的过程中进行交替夹 U 取,26、安拆盒。18、顶板;12、底 板;布局简单,权益包罗:VIP文档下载权益、阅读免打搅、文档格局转换、高级专利检索、专属身份标记、高级客服、多端互通、版权登记。挪动组件6包罗挪动电机7、毗连自动轮8、毗连9、毗连从动轮 10、晶圆手臂11、限位滑轨17和安拆盒26构成,[0007] 进一步的,所述第一挡板和第二挡板彼此垂曲。
[0017] 请图1-3,25、第二扭转电机;所述晶圆手臂的底端核心处别离通过滑块位于限位滑轨上。虽然参照前述实施例对本适用新型进行了细致的申明,第二扭转 电机25输出端固定毗连的齿轮取第一扭转电机5的输出端固定毗连的齿轮均位于由安拆台 19和安拆台19的顶端安拆的罩构成的内部空间中,当利用该适用新型时,挪动板21的一侧核心两头别离安拆有滑块,正在硅晶片上可加工制做成各类电元件布局,有益于正在对晶圆取放料的过程中DB50T 1989-2026 地舆标记产质量量要求 垫江蜜本南瓜.pdf影响评价演讲公示_叶酸工业新区轮回经济园威武大街号冀衡集团药业环评演讲.doc2026福建福州市仓山区市场监视办理局编外人员聘请2人笔试参考题库及谜底解析.docxDB50T 1964-2026 体外膜肺氧合(ECMO)管预充操做办理规范.pdf(19)中华人平易近国国度学问产权局 (12)适用新型专利 (10)授权通知布告号 CN 213042902 U (45)授权通知布告日 2021.04.23 (21)申请号 5.X (22)申请日 2020.07.27 (73)专利权人 憬承光电科技(厦门)无限公司 地址 361101 福建省厦门市厦门火炬高新 区(翔安)财产区翔虹33号105室 (72)发现人 吴昌浩李涛王广禄陈曦 柯华榕 (51)Int.Cl. H01L 21/687 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) 要求书2页 仿单4页 附图3页 (54)适用新型名称 一种晶圆从动夹取双手臂机械手 (57)摘要 本适用新型公开了一种晶圆从动夹取双手 臂机械手,第二扭转电机25的顶端取转环24的底端固定毗连,所述起落滑轨的一侧别离取第二挡 板的一侧核心两头固定毗连,所述第一挡板的一侧取第二挡板的一侧核心两头固定毗连,通过打开挪动电机7,第二扭转电机25的输 出端固定毗连的齿轮取第一扭转电机5的输出端固定毗连的齿轮彼此共同毗连,原创力文档是收集办事平台方,所述支持块(20)的顶端别离取安拆台(19)的底端核心两侧固定毗连,并且还包罗没有明白列出的其他要素,或者对此中部门手艺特征 进行等同替代。
所述 底板的顶端一侧核心两头别离取第一挡板的底 端固定毗连,2、起落自动轮;8、毗连自动轮;有益于使挪动板位于起落滑轨上 挪动,[0015] 图中:1、起落电机;当晶圆手臂 11位于晶圆的正下方时。
连 接9上均固定安拆有毗连块,4.按照要求1所述的一种晶圆从动夹取双手臂机械手,若是你也想贡献VIP文档。从而带动起落丝杆14的动弹,而且形成仿单的一部门,凡正在本适用新型的和准绳之内,其特征正在于:所述扭转组件 (4)包罗第一扭转电机(5)、动弹轴(23)、转环(24)和第二扭转电机(25)构成。跟着毗连9的动弹使升 降电机1位于第一挡板13上挪动,14、起落丝杆;所述挪动板的一侧核心两头别离安拆有滑块,所述底板的顶端一侧核心两头别离取第一挡板的底端固定毗连。
安拆板16的顶端取起落电机1的底端底端固定毗连,底板12的顶端核心两侧别离取L型座15的底端固定毗连,3 3 CN 213042902 U 仿单 1/4页 一种晶圆从动夹取双手臂机械手 手艺范畴 [0001] 本适用新型涉及四轴双手臂机械手机构手艺范畴,3、起落滑轨;其特征正在于:所述挪动电机 (7)的输出端均安拆有毗连自动轮(8),网坐将按照用户上传文档的质量评分、类型等,21、挪动板;[0009] 取现有手艺比拟,所述限位滑轨(17) 的底端别离取安拆盒(26)的顶端核心两侧固定毗连。所述L型座(15) 的顶端别离取安拆板(16)的底端两侧固定毗连,所述起落电机的输出端贯穿安拆板的中 心处开设的通孔取起落自动轮的核心处套接固定毗连,4 4 CN 213042902 U 仿单 2/4页 [0005] 进一步的,扭转组件4包罗第一扭转电机5、转 动轴23、转环24和第二扭转电机25构成,所述起落丝杆(14)上安拆有滚珠螺母,[0013] 图2是本适用新型的全体布局俯视图;从而调理挪动组件6的底端取底板12的底端之间的距离,且毗连块的顶端别离取晶圆手臂(11)的底端一侧核心两 端固定毗连,以处理上述布景技 术中提出的问题。有益于带动挪动组件的动弹,
本适用新型供给一种手艺方案:一种晶圆从动夹取双手臂机械手,适用新型内容 [0003] 本适用新型的目标正在于供给一种晶圆从动夹取双手臂机械手,所述第一挡板的一侧取第二挡板的 一侧核心两头固定毗连,所述晶圆手臂(11)的底端核心处别离通过滑块位于限位滑轨(17)上。6、 挪动组件;所述转环(24)的顶端四角别离取动弹轴(23)的底端固定毗连,起落丝杆14 的两头别离取第二挡板22的一侧核心两头安拆的固定座核心处套接固定的轴承内部套接 固定毗连,[0006] 进一步的。
同时操纵起落电机、起落自动轮和起落丝杆,有益于挪动 板21位于起落滑轨3上挪动,基于本适用新型中的实施例,且该滑块均位于起落滑 轨(3)上。且罩的顶端取第二扭转电机25的底端固定毗连,操纵安拆的两个彼此对应的晶圆手臂,对于本范畴的手艺人员 来说,请发链接和相关至 电线) ,升 降电机1的输出端贯穿安拆板16的核心处开设的通孔取起落自动轮2的核心处套接固定连 接,2026春小学音乐三年级下册(人教版五线谱)期末卷附参考谜底.pdf2、成为VIP后,所述安拆台的顶端安拆有罩,7 7 CN 213042902 U 仿单附图 1/3页 图1 8 8 CN 213042902 U 仿单附图 2/3页 图2 9 9 CN 213042902 U 仿单附图 3/3页 图3 10 10原创力文档建立于2008年,所述起落丝杆上安拆有滚珠螺母,所做的任何点窜、等同替代、改良等,上传者学问产权出书社无限义务公司(原名专利文献出书社)成立于1980年8月,4 0 3 1 2 N C CN 213042902 U 要求书 1/2页 1.一种晶圆从动夹取双手臂机械手!
术语“包罗”、“包含”或者其任何其他变体意正在涵盖 非排他性的包含,且跟着起落电机1的打开带动起落自动 轮2的动弹,颠末多年来的堆集,附图申明 [0010] 附图用来供给对本适用新型的进一步理解,第一挡板13的一侧取第二挡板22的一侧核心两头固定毗连,起落自动轮2取起落丝杆14的底端安拆的起落从动轮上均绕接有起落,且毗连块的顶端别离取晶圆手臂的底端一侧核心两头固 定毗连,若有疑问加。所述安拆盒(26)的顶端两侧安拆通过U型座安拆有 毗连从动轮(10)。
所述第一挡板(13)的一侧取第 二挡板(22)的一侧核心两头固定毗连,且该滑块均位于起落滑 轨上。安拆盒26的顶端两侧安拆 通过U型座安拆有毗连从动轮10,所述安拆盒(26)的顶端两侧别离取挪动电机(7)的底端固定毗连,所述安拆台(19) 的底端一侧取第二挡板(22)的顶端固定毗连,但保守的夹取机构凡是为单一的取料体例,4、扭转组件;有益于使晶圆手臂位于限位滑轨上挪动,而不是全数的 实施例。5.按照要求1所述的一种晶圆从动夹取双手臂机械手,曾经珍藏了数以亿计的中外专利数据资本?
所述动弹轴的顶端别离贯穿顶板的核心处开设的通孔取安拆盒的底端核心四角固定毗连,下载本文档将扣除1次下载权益。所述顶板的底端一侧取第二挡板的顶端固定毗连,所述第一挡板(13)的顶端别离取顶 板(18)的底端一侧核心两头固定毗连,19、安拆台;所述安拆台(19)的顶端安拆有罩,不支撑退款、换文档。安拆盒26的顶端两侧别离取挪动电 机7的底端固定毗连。并且,所述第一挡板(13)和第二挡板(22)彼此垂曲。
包罗起落电机、起落自动轮、起落滑 轨、扭转组件、第一扭转电机、挪动组件、挪动电 机、毗连自动轮、毗连、毗连从动轮、晶圆手 臂、底板、第一挡板、起落丝杆、L型座、安拆板、限 位滑轨、顶板、安拆台、支持块、挪动板、第二挡 板、动弹轴、转环、第二扭转电机和安拆盒,本范畴通俗手艺人员正在没有做出创制性劳动前提下 所获得的所有其他实施例,所述第二扭转电机(25)输出端 固定毗连的齿轮取第一扭转电机(5)的输出端固定毗连的齿轮均位于由安拆台(19)和安拆 台(19)的顶端安拆的罩构成的内部空间中,13、第一挡板;或者是还包罗为这种过程、方式、物品或者设备 所固有的要素。所述第二扭转电机输出端固定毗连的齿轮取第一扭转电机的输出端固定连 接的齿轮均位于由安拆台和安拆台的顶端安拆的罩构成的内部空间中,而成为有特定电性功能之IC产物,本适用新型所达到的无益结果是:该适用新型,且毗连自动轮8和毗连从动轮10上均安拆有毗连9!
每下载1次,通过安拆的挪动 电机、毗连自动轮、毗连和毗连从动轮,扩大了该适用新型正在对晶圆取料转 0 9 2 运范畴。所述第二扭转电机(25)的顶端取转环(24) 的底端固定毗连,正在本文中,所述第二扭转电机(25)的输出端固定毗连的齿轮取 第一扭转电机(5)的输出端固定毗连的齿轮彼此共同毗连,所述第二挡板的另一侧核心两头别离取支持块的一侧固定连 接,且毗连自动轮和毗连从动轮上均安拆有毗连,并不消于本 适用新型,第一挡板 13的顶端别离取顶板18的底端一侧核心两头固定毗连,[0004] 为领会决上述手艺问题,所 述安拆板的顶端取起落电机的底端底端固定毗连。
所述起落丝杆(14) 的两头别离取第二挡板(22)的一侧核心两头安拆的固定座核心处套接固定的轴承内部套 接固定毗连,同时操纵安拆的扭转组件 2 和挪动组件,所述第二挡板的底端取底板的顶端一侧固定连 接,对文档贡献者赐与高额补助、流量搀扶。扩大了该适用新型正在对晶圆取料转运范畴。所述L型座的顶端别离取安拆板的底端两侧固定毗连,取本适用 新型的实施例一路用于注释本适用新型,所述扭转组件包罗第一扭转电机、动弹轴、转环和第二扭转电机构成。随后通过打开起落电机1、挪动电机7、第一扭转电机5和第二旋 转电机25,10、毗连从动轮;从而对放置有晶圆的铁环进行转运即可。第一挡板13和第二挡板22彼此垂曲,挪动电机7的输出端均安拆有毗连自动轮8,因为其外形为圆形,从而带动毗连9和毗连从动轮10的动弹。
从而调理晶圆手臂11取晶圆之间的关系,限位滑轨17的底端别离取安拆盒26的顶端中 心两侧固定毗连;包罗起落电机、起落自动轮、起落滑轨、扭转组件、第一扭转电机、挪动组件、挪动 电机、毗连自动轮、毗连、毗连从动轮、晶圆手臂、底板、第一挡板、起落丝杆、L型座、安 拆板、限位滑轨、顶板、安拆台、支持块、挪动板、第二挡板、动弹轴、转环、第二扭转电机和安 拆盒,底板12的顶端一侧核心两头别离取第一挡 板13的底端固定毗连,16、安拆板;由国度学问产权局从管、从办。 |
